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4月7日消息，三利谱公布，公司根据自身发展战略及经营规划，拟以自有资金或其他自筹资金出资1亿元人民币在深圳市龙岗区坪地街道中心社区投资设立全资子公司深圳市三利谱光电技术有限公司(暂定名，“三利谱光电技术”)。

集成的腔室探针台配套温控器和高低温卡盘，可实现RF探针台/毫米波探针台-60℃-200℃温度量测

4月6日，中微公司董事长、总经理尹志尧透露，公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线。
尹志尧表示，公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线和先进封装生产线。
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其他品牌普通探针台改造升级为毫米波探针台